Скачать PDF
Травление высокотемпературных сверхпроводящих пленок Y BaCuO
Александр Борисович Муравьев 1, Анатолий Александрович Скутин 2, Климентий Николаевич Югай 3, Константин Климентьевич Югай 4, Сергей Александрович Сычев 5, Геннадий Михайлович Серопян 6
1.1Омский государственный университет(Омск); 2.1Омский государственный университет(Омск); 3.1Омский государственный университет(Омск); 4.1Омский государственный университет(Омск); 5.1Институт сенсорной микроэлектроники СО РАН(Омск); 6.1Институт сенсорной микроэлектроники СО РАН(Омск);
Дата поступления
1997.02.03		Аннотация. Results of investigations of the dry etching of high-Tc Y BaCuO films are produced. A theoretical model of the etching is discussed.
Ключевые слова
физика

Библиография
[1] Tsuge H., Matsui S., Tokago N. // IEEE Trans. on Component, Hibrids and Manufact. Technology. 1989. V. 12. N 4. P. 548-552. [2] Nagai Y., Tsuru K., Yanagisawa K. // In: Proc. of ASC-90, to be published in IEEE Trans. Magn. 1991. V. 27. [3] Югай К.Н., Скутин А.А., Сычев С.А. и др. // СФХТ. 1994. T. 7. N 6. C. 1026-1032. [4] Скутин А.А., Сычев С.А., Тихомиров В.В., Югай К.Н. Авторское свидетельство N 1823732, 12.10.92. [5] Bonner W.D., Titus A.C. // J. Am. Chem. Soc., 52,634 (1930). [6] Таблицы физических величин / Под ред. И.К.Кикоина. М.: Атомиздат, 1976. 199 с. [7] Жданов В.П. Элементарные физико-химические процессы на поверхности. М.: Мир, 1988. 318 с. [8] Физические величины: Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 255 с.

Сведения о финансировании и благодарности
Травление высокотемпературных сверхпроводящих пленок Y BaCuO
Александр Борисович Муравьев 1, Анатолий Александрович Скутин 2, Климентий Николаевич Югай 3, Константин Климентьевич Югай 4, Сергей Александрович Сычев 5, Геннадий Михайлович Серопян 6
1.1Omsk State University(Omsk); 2.1Omsk State University(Omsk); 3.1Omsk State University(Omsk); 4.1Omsk State University(Omsk); 5.1Институт сенсорной микроэлектроники СО РАН(Omsk ); 6.1Институт сенсорной микроэлектроники СО РАН(Омск);
Received
1997.02.03		Abstract. Results of investigations of the dry etching of high-Tc Y BaCuO films are produced. A theoretical model of the etching is discussed.
Keywords
physics

References
[1] Tsuge H., Matsui S., Tokago N. // IEEE Trans. on Component, Hibrids and Manufact. Technology. 1989. V. 12. N 4. P. 548-552. [2] Nagai Y., Tsuru K., Yanagisawa K. // In: Proc. of ASC-90, to be published in IEEE Trans. Magn. 1991. V. 27. [3] Югай К.Н., Скутин А.А., Сычев С.А. и др. // СФХТ. 1994. T. 7. N 6. C. 1026-1032. [4] Скутин А.А., Сычев С.А., Тихомиров В.В., Югай К.Н. Авторское свидетельство N 1823732, 12.10.92. [5] Bonner W.D., Titus A.C. // J. Am. Chem. Soc., 52,634 (1930). [6] Таблицы физических величин / Под ред. И.К.Кикоина. М.: Атомиздат, 1976. 199 с. [7] Жданов В.П. Элементарные физико-химические процессы на поверхности. М.: Мир, 1988. 318 с. [8] Физические величины: Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 255 с.

Acknowledgements
Сведения об авторах
Александр Борисович Муравьев
1.1. кафедра общей физики, Омский государственный университет
Адрес для корреспонденции: 644077, Омск, пр. Мира, 55-A

Анатолий Александрович Скутин
2.1. кафедра общей физики, Омский государственный университет
Адрес для корреспонденции: 644077, Омск, пр. Мира, 55-A

Климентий Николаевич Югай
3.1. кафедра общей физики, Омский государственный университет
Адрес для корреспонденции: 644077, Омск, пр. Мира, 55-A

Константин Климентьевич Югай
4.1. кафедра общей физики, Омский государственный университет
Адрес для корреспонденции: 644077, Омск, пр. Мира, 55-A

Сергей Александрович Сычев
5.1. лаборатория ВТСП, Институт сенсорной микроэлектроники СО РАН
Адрес для корреспонденции: 644077, Омск, пр. Мира, 55-А

Геннадий Михайлович Серопян
6.1. лаборатория ВТСП, Институт сенсорной микроэлектроники СО РАН
Адрес для корреспонденции: 644077, Омск, пр. Мира, 55-А
About the authors
Александр Борисович Муравьев
1.1. Omsk State University
Postal address: 644077, Omsk, pr. Mira, 55-A

Анатолий Александрович Скутин
2.1. Omsk State University
Postal address: 644077, Omsk, pr. Mira, 55-A

Климентий Николаевич Югай
3.1. Omsk State University
Postal address: 644077, Omsk, pr. Mira, 55-A

Константин Климентьевич Югай
4.1. Omsk State University
Postal address: 644077, Omsk, pr. Mira, 55-A

Сергей Александрович Сычев
5.1. лаборатория ВТСП, Институт сенсорной микроэлектроники СО РАН
Postal address: 644077, Omsk , pr. Mira, 55-A

Геннадий Михайлович Серопян
6.1. лаборатория ВТСП, Институт сенсорной микроэлектроники СО РАН
Postal address: 644077, Омск, pr. Mira, 55-A
Поиск
Свежий выпуск
Авторам
Подать статью